Produkte aus Kohlenstoff und Graphit
für die Halbleiter- und LED-Industrie

Unser Portfolio für die Halbleiter- und LED-Industrie reicht von Heizern, Stütztiegeln, Hitzeschilden und Isolationsbauteilen für viele Verfahren zur Züchtung von Einkristallen, wie z. B. dem Czochralski (CZ)-Prozess, der Sublimations- oder Physical Vapor Transport (PVT)-Methode oder auch der Heat Exchange (HEM)-Methode.

Hinzu kommen Suszeptoren für die Silizium-Epitaxie, wie auch für MOCVD-Reaktoren (Metal Organic Chemical Vapor Deposition). Unsere Komponenten werden vorwiegend nach individuellen Anforderungen gefertigt. Außerdem unterstützen wir unsere Kunden bei Planung und Entwurf sowie bei der Optimierung im Betrieb.

Als zuverlässiger Lieferant und Partner unserer Kunden bieten wir für jede Anwendung die perfekte Lösung:

Was uns auszeichnet:

  • Breiteste Auswahl hochreiner Spezialgraphite
  • Konstant hohe Material- und Produktqualität
  • Langjähriges Anwendungs- und Werkstoff-Know-how
  • Individuelle Fertigung exakt nach Kundenwunsch
  • Anwendungsspezifische Veredelung durch Reinigung, mechanische Bearbeitung oder Beschichtung
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