Produkte für die Silizium-Epitaxie
in der Halbleiter- und LED-Industrie:

Barrel-Suszeptoren, Pancake- und Single-Wafer-Suszeptoren

SIGRAFINE® Suszeptoren für Epitaxie-Reaktoren

Bis zum fertigen Halbleiterprodukt durchläuft ein Wafer unzählige Schritte. Ein zunehmend wichtiger Prozess ist die Silizium-Epitaxie, in welchem die Wafer von Graphit-Suszeptoren getragen werden. Eigenschaften und Qualität der Suszeptoren wirken sich wesentlich auf die Qualität des Endprodukts aus.

Unsere SiC-beschichteten Graphit-Suszeptoren überzeugen vor allem durch höchste Reinheit sowie eine homogene Beschichtung und eine ausgezeichnete Lebensdauer. Darüber hinaus bieten sie eine hohe chemische und thermische Beständigkeit. Die SiC-Beschichtung erfolgt homogen und innerhalb engster Toleranzen. Für ein gleichmäßiges Suszeptor-Profil sorgt die hochpräzise mechanische Bearbeitung. Auch für induktiv beheizte Systeme bieten wir Material mit einem optimalen elektrischen Widerstand an. Die fertigen Bauteile liefern wir inklusive Reinheits- und Dimensionszertifikat.

Die SGL Group bietet Suszeptoren und Graphitbauteile für die gängigen Typen von Epitaxie-Reaktoren. Unser Portfolio umfasst Barrel-Suszeptoren für Applied- und LPE-Anlagen, Pancake-Suszeptoren für LPE-, CSD- und Gemini-Anlagen sowie Single-Wafer-Suszeptoren für Applied- und ASM-Anlagen. Alle unsere Suszeptoren werden aus hochfestem isostatischem Graphit hergestellt. Darüber hinaus fertigen wir Bauteile für die Ionen-Implantation aus besonders geeignetem hochreinem isostatischem Graphit.

Dank umfassender Qualitätskontrollen bieten wir unseren Kunden lückenlos rückverfolgbare Produkte bester Qualität. Parallel entwickeln wir unsere Werkstoffe und Produkte weiter, in enger Zusammenarbeit mit Herstellern und Betreibern von Epitaxie-Anlagen.

Anwendungsspezifische Spezialgraphite für die Silizium-Epitaxie

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