Produkte für die Polysilizium-Produktion
in der Halbleiter- und LED-Industrie:

Reaktoren, Polychucks, Gasverteiler, Heizelemente, Hitzeschilde und Isolationszylinder

SIGRAFINE® Mäanderheizer für CZ-AnlagenSIGRAFINE® Elektroden (Polychucks) für Siemens-Reaktoren

In Siemens-Reaktoren und sogenannten STC-TCS-Konvertern, zur Wiederaufbereitung der Prozessgase, herrschen Temperaturen bis über 1000 °C und ein hochkorrosives Milieu. Hier überzeugen unsere Graphitbauteile vor allem, weil sie extrem temperatur- und korrosionsbeständig sind.

Seit Jahrzehnten unterstützen wir Polysiliziumhersteller mit vielfältigen Anlagenkomponenten. Dazu zählen gereinigte Elektroden für die Polysiliziumabscheidung, Heizer und Gasführungen für STC-TCS-Konverter sowie Hitzeschilde und thermische Isolationsteile.

Abhängig von Anforderungen und Betriebsbedingungen wählen unsere Experten die besten Materialien und fertigen daraus maßgeschneiderte Produkte. Durch unsere neu entwickelten Formgebungs- und Verbindungslösungen können wir zum Beispiel Konverter-Isolationen in fast jeder Länge und nahezu jedem Durchmesser liefern. Um die Lebensdauer besonders beanspruchter Bauteile zu erhöhen – etwa bei Konvertern, bieten wir Spezialbeschichtungen aus Siliziumcarbid (SiC).

Anwendungsspezifische Spezialgraphite für die Polysiliziumproduktion

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